Technologia PVD
Nanotech Digital GmbH oferuje różne rozwiązania procesowe PVD.
Nasz system napylania jonowego i rozwiązania procesowe od modernizacji istniejących urządzeń do rozwoju nowych procesów, doradztwa i redukcji kosztów z wykorzystaniem 2. źródła.
Poniższy obrazek to „formacja pagórkowata” pokazująca, że TiOx / Pt to stabilny film do późniejszego wzrostu PZT na waflach.
Skanowanie mikroskopu elektronowego (SEM) Obraz
– PZT zdeponowane na Elektrodzie Dolnej
System napylania jonowego Obraz
