PVD Technologie

Nanotech Digital GmbHbietet eine Vielzahl von PVD Prozesslösungen an.Unsere Sputtering System und Prozesslösungen reichen von Aufrüstung bestehender Anlagen bis zu Entwicklung neuer Prozesse, Beratung und Kostensenkung mit 2nd Source.

Das untere Bild „hillock formation“ zeigt, dass TiOx / Pt ein stabiler Film für das nachfolgende PZT-Wachstum auf Wafern ist.