X-eye NF120
Nano-focus X-ray
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Wafer Level Packaging 검사를 위한 비파괴 분석 설비
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Dual Type의 CT 지원으로 최상의 이미지 확보
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TSV, Micro Bump, Pattern
Nano-focus X-ray 검사장비 |
Specifications
X-ray Tube | 120 kV / 200 µA |
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Min. Resolution | 0.2㎛ |
Table Size | 12inch wafer |
Detector | 6 inch FPXD |
CT Scan Method | Oblique CT / Cone beam CT |
Foot print | 2,380 x 1,450 x 2,120 mm Control Box : 600 x 1,250 x 1,030 mm |
Weight | 7,000kg |
AXIS | X, Y, Z, Tilt (70º), R |