X-eye 6000 POP

POP전용 3DCT AXI

 

 

  • POP제품 전용의 3D In-Line 검사장비

  • 3D CT 기술이 적용된 POP 적층면의 자동 양/불 판독

  • 검출 시간 : Max. 5 sec/unit

POP (Package on Package) 전용 3D CT X-ray 검사장비
최신 반도체 적층 기술이 적용된 POP (Package on Package) 제품의 3D X-ray 자동검사 전용 설비입니다.
Tray에 배치된 POP 제품을 로딩에서 양/불 판독 및 불량 선별까지의 과정이 자동으로 이루어지며,
검사 결과가 기본 데이터베이스에 저장되어 양산 수율 관리 (SPC)에 도움을 줍니다. 1개당 2.5초로 세계 최고의 검사속도를 가지고 있습니다.

 

Specifications

X-ray Tube 130 kV / 200 µA
Min. Resolution 6~15 µm
Detector 8 M Pixel FPD
Chip Size Min : 8 x 6 (mm) , Max : 20 x 20 (mm)
Defects Non-wet, Open, Short, Big / Small ball
Dimension 2,300(W) x 2,400(D) x 2,120(H)mm / 4,800kg

Cu pillar Bump non wet

POP Bump Short

Applications