Prozessausrüstung
Massenproduktionsanlagen (Prozess)
Ausrüstungslisten
– Sputter :Inline Sputter, ITO Sputter, etc.
– CVD : CVD, PECVD, MOCVD, ALD, APCVD
– OLED Verdunstung & Verkapselung
– Hochofen: Thermoofen, Hochtemperaturofen
-Etcher: Trockener Etcher
– Stepper & Track : Halbleiter, LED
Massenproduktionsanlagen (Andere)
Ausrüstungslisten
-Transfermodulkammer
-Auto ausgerichtet System
– Inspektionssystem : In-Line-Röntgen, Röntgen 3D CT, Test, REM
– Tab Potting System
– ACF Bonder
– Flip Chip Bonder
FuE Ausrüstung
Ausrüstungslisten
– Sputter :Inline Sputter, ITO Sputter, etc.
– CVD : CVD, PECVD, MOCVD, ALD
– OLED Verdunstung & Verkapselung
– Hochofen: Thermoofen, Hochtemperaturofen
– Stepper & Track : Halbleiter, LED
– Plasmareaktor : Forschung und Entwicklung
– RF Power & Mikrowellenmodul
-Transfermodulkammer
-Auto ausgerichtet System
– Inspektionssystem : Röntgen, Test