게이트 밸브는 진공 시스템에서 진공을 유지해야 하는 경우 고진공 또는 초고진공 시스템 장비에 사용.

진공 챔버의 가스 흐름, 격리, 환기 또는 전도도를 제어.

설치 방향에 구애받지 않고 가스가 밸브를 통과할 때 방향과 단면의 변화가 적어 압력 손실이 적음.

다양한 규격, 압력, 온도에 대응이 가능하여 고객의 요구에 부응.

축이 90도 회전할 때 밸브 본체의 시트에 완전히 밀봉되는 진공 파이프의 흐름 방향에 수직인 피벗 축이 있는 원형 디스크로 구성된 신속 개방 가능.

축이 90도 회전할 때 밸브 본체의 시트에 완전히 밀봉되는 진공 파이프의 흐름 방향에 수직인 피벗 축이 있는 원형 디스크로 구성된 신속 개방 밸브.

마이크로 스텝 모터를 적용하여 매우 빠르고 정밀한 위치 제어를 통해 진공 압력을 제어.

제조 공정에서 이송 챔버 또는 공정 챔버 사이에 위치하는 밸브로서 적용 위치의 특성상 고성능 및 내구성이 요구.

300만 사용시간, I-motion/L-motion 타입 구조.

I-motion 의 경우 단일 링크와 용접된 벨로우즈의 단순한 구조를 통해 게이트가 균일한 힘으로 완벽하게 접착. 빠른 개폐가 가능하며, 개폐용 LM가이드를 통해 정밀한 움직임을 구현하고 높은 내구성을 확보.

L-모션의 경우 전체 블록에서 가공된 프레임 내부에 웨지 캠 운동이 구현되어 게이트가 균일한 힘으로 완벽하게 접착.

빠른 개폐가 가능하며 LM-guide를 통한 정밀한 움직임으로 개폐가 구현되어 높은 내구성을 확보.

게이트 O-ring의 유지보수가 용이하며 Reed sensor 또는 Limit switch 옵션을 제공하여 Open/Closed 상태를 확인 가능.