Technische Dienstleistungen

Overhaul der Verdunstungszellen

Reparierbares Modell

– Sunic Cell

– Tokki Cell

– Ulvac Cell

– Veeco Cell

– etc.

Overhaul-Services der Verdunstungszellen

Ozone Generator Overhaul

Reparierbares Modell

– AX8200

– AX8403

– AX8407, AX8407(A)

– AX8560 ~ 7100

Generator Overhaul-Prozess

Foto & Litho- Teile

Services Lists

– Foto & Litho- Teile Verkauf

– Foto & Litho Teile Reparatur

– Lens Optimierung & Reinigung

– Track Parts Reparatur & Overhaul

Photo & Litho- Sanierung & Relocation

Sanierung & Modifizierung

Services Lists

– Sputter : Applied, Varian, Ulvac, Novellus, Sunic, etc.

– CVD : Applied, TEL, Novellus, IPS, etc.

– Photo & Litho (Stepper, E-beam Lithography) : Nikon, Cannon, Jeol

– Track : TEL MK-2, V, VZ, 7, 8

– OLED : Verdunster, Quelle, Zelle, Aligner, Verkapselung (dünner Film, Glas, Metall), Tokki, Ulvac, Sunic, SNU, etc.

– Ion Implant : Applied, Varian, Axcelis, etc.

– Hochofen : TEL, Kokusai, etc.

– Etcher : TEL, Kokusai, etc.

Set-up & Relocation

Services Lists

– Set-up : OLED Full Linie, LCD Linie, Foto & Litho, Track, Sputter, CVD, Hochofen, Solarmodul-Linie, LED-Linie, Halbleiter etc.

– Relocation : OLED Full Linie, LCD Linie, Foto & Litho, Track, Sputter, CVD, Hochofen, Solarmodul-Linie, LED-Linie, Halbleiter etc.

– Disassemble : Photo & Litho, Track, Sputter, CVD(MOCVD, PECVD), Hochofen

Upgrade

Services Lists

– Equipment Upgrade : OLED, Ion Implant, Stepper, Track, Sputter(Heater, Gun, Target, etc.), CVD, etc.

-Foto & Litho: Linsenoptimierung, Wafer-Größenwechsel, He-Ne-Laserkopf optimieren, Halbleiter =>LED-Produktion, etc.

– Track : Coater<=>Entwicklung Veränderung, Schnittstelle-Modifikation, Heißplattenmodifikation, etc.